顧名思義，超純水是純度非常高的水。這種水也叫UP水。判斷水是否為超純水的標(biāo)準(zhǔn)是該水在25℃時(shí)電阻率能否達(dá)到18mΩ*cm。也就是說(shuō)，邊長(zhǎng)為1厘米的超純水立方體兩側(cè)之間的電阻可以達(dá)到18千歐姆。電阻率能反映水的純度。電阻率越大，水的純度越高。

　　超純水是通過(guò)蒸餾、去離子、反滲透技術(shù)或其他適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)的水，用于開(kāi)發(fā)超純材料。其電阻率大于18MΩ*cm或接近極限值18.3MΩ*cm(25℃)。

　　超純水在我們的日常生活中很少見(jiàn)。一般來(lái)說(shuō)，只有在實(shí)驗(yàn)室里，我們才能對(duì)水的純度有如此高的要求。在超純水中，除了水分子外，幾乎沒(méi)有其他物質(zhì)。超純水中既找不到細(xì)菌也找不到微量元素。

　　因?yàn)槌兯暮}量特別低，如果人類長(zhǎng)期飲用這種水，體內(nèi)的滲透壓會(huì)發(fā)生變化，這可能會(huì)導(dǎo)致體內(nèi)細(xì)胞的膨脹。顯然，日本儲(chǔ)存了如此多的超純水，不是為了飲用，而是為了一些實(shí)驗(yàn)，這實(shí)際上與中微子有關(guān)。

　　制備超純水可采用雙反+EDI+拋光混床工藝。反滲透系統(tǒng)利用反滲透原理，主要去除水中的溶解鹽、有機(jī)物、膠體和大分子。降低水質(zhì)中的離子含量。EDI不需要酸堿再生。這是一種新的脫鹽方法。EDI無(wú)需回收化學(xué)品，運(yùn)行成本低，EDI系統(tǒng)自動(dòng)化程度高，連續(xù)運(yùn)行，出水水質(zhì)良好穩(wěn)定，出水電阻率高≥ 15mΩ·cm。拋光混床用于高純水處理系統(tǒng)的末端凈化器。設(shè)計(jì)、制造和生產(chǎn)的半導(dǎo)體級(jí)混床離子交換樹(shù)脂可將水中離子含量降至PPB級(jí)，出水電阻率可達(dá)18.2mΩ·cm。